Inertsed atmosfääriahjud, mida nimetatakse ka anaeroobseteks ahjudeks, on mõeldud kuumtöötlemiseks, kasutades mitteoksüdeerivaid gaase, näiteks lämmastikku, suletavas keskkonnas, see sobib kuumtöötlemiseks madala hapnikusisaldusega atmosfääris.
Kirjeldus
Inert Atmosphere Oven seeriat kasutatakse pooljuhtide tootmises ränivahvlite, galliumarseniidi, liitiumniobaadi, klaasi enne PR-katmist, kõvakile küpsetamiseks pärast PR-katmist ja kõrgel temperatuuril küpsetamiseks pärast ilmutamist; See sobib ka tootmis- ja teadusuuringute osakondade jaoks, nagu elektrooniline vedelkristallekraan, LCD, CMOS, IS ja laborid; seda saab kasutada ka mittelenduvate, mittesüttivate ja mitteplahvatusohtlike esemete kuivatamiseks, kuumtöötlemiseks, vanandamiseks ja muudeks kõrgtemperatuurilisteks katseteks.
Peamised parameetrid
►Tehnilised parameetrid
Maht: kohandatud vastavalt toodetele
Temperatuurivahemik: ümbritsev +50°C ~ 250°C
Hapnikusisaldus: ≤50 ppm
Temperatuuri ühtlus: ±2,5%
Kiirenduskiirus: juhitav
Lämmastiku sisselaskeava: Φ8
Lämmastiku vool: 0-240L/min * 2 kanalit
►Struktuur
. Siseahi: valmistatud roostevabast terasest ja õmblusteta argoongaasiga keevitatud.
. Hermeetiliselt suletud: kamber on suletud hapnikutaseme vähendamiseks.
. Õhu sisselaskeava struktuur: võimaldab mitteoksüdeerivatel gaasidel täita kambrit.
. O2 analüsaator: reguleerige täpselt hapniku taset vahemikus 0,5–21%.
► Temperatuuri kontrollsüsteem
Intelligentne JAAPANI RKC temperatuurikontroller, programmid ja fikseeritud väärtuse seadistus, AT automaatne häälestamine, nihke korrigeerimine ja väljalülituse säilitamine.
► Õhu sundkonvektsioon
Patenteeritud õhukanal kuuma õhu tsirkulatsioonisüsteemis saab automaatselt reguleerida temperatuuri ühtlust.
Anaeroobsete (inertsete) ahjude omadused
► Hermeetiliselt suletud roostevabast terasest stuudio välisõhu sissepääsu vältimiseks
► Kasutage anaeroobseks kuumtöötluseks inertgaasi lämmastikku
► Varustatud on vooluhulgamõõtur ja manomeeter
► Mitmekaitsega ohutusseadised
Valikud
► PLC+7” programmeeritav kontroller
► Kolmevärviline vilkuva tulega alarm
► Ületemperatuuri piiraja
► Manuaalsed ohutusseadmed
Miks valida inertsed atmosfääriahjud?
Tänapäeval on vooluahelate juhtmestiku materjalid nihkunud alumiiniumist madalama takistusega vasele. Seetõttu võivad vasest osad tavalises kuivatusahjus kuumtöötlemisel oksüdeeruda, põhjustades defekte. Lisaks tehakse ka 250 kraadi C vanandamist, et kontrollida, kas välkmällu kirjutatud andmed on elektromigratsiooni tõttu kustutatud ja kas löögiosad on oksüdeerunud, mistõttu tuleb hapnikusisaldust vähendada <100ppm-ni. See anaeroobne ahi töötati välja nende nõudmiste täitmiseks.
Rakendus
Inertseid atmosfääriahju kasutatakse peamiselt BPO liimi / PI liimi / BCB liimi kõvendamiseks, IC (vahv, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, ülitäpsete elektrooniliste komponentide ja muude materjalide jaoks madala hapnikusisaldusega keskkonnas kuivatamise ja vananemiskatsete jaoks. .
